在催化燃燒過程中，活性氧是一種重要的催化劑，可以促進有機廢氣中的碳氫化合物等污染物的氧化反應，從而達到有機廢氣處理的目的。活性氧的深度氧化是指在催化燃燒過程中，活性氧與有機廢氣中的碳氫化合物等污染物發(fā)生反應，將其完全氧化為二氧化碳、水和其他無害物質的過程。

具體來說，活性氧的深度氧化過程包括以下幾個步驟：

1、活性氧與有機廢氣中的碳氫化合物等污染物發(fā)生反應，形成自由基等中間產(chǎn)物。

2、這些中間產(chǎn)物繼續(xù)與氧氣等氧化劑發(fā)生反應，形成更穩(wěn)定的氧化物。

3、這些氧化物與廢氣中的其他物質發(fā)生反應，形成二氧化碳、水等無害物質，從而達到凈化廢氣的目的。

需要注意的是，活性氧的深度氧化過程需要在催化劑的作用下進行，催化劑可以加速反應速率，提高反應效率，從而達到更好的凈化效果。同時，在催化燃燒過程中，還需要控制反應溫度、反應時間等參數(shù)，以保證反應的完全性和凈化效果。